敏芯股份取得发明专利授权：“惯性传感器芯片及其制造办法”

  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现敏芯股份（688286）新取得一项发明专利授权，专利名为“惯性传感器芯片及其制造办法”，专利请求号为CN4.5，授权日为2024年11月15日。

  专利摘要：本发明供给了一种惯性传感器芯片及其制造办法，其间制造办法有：供给衬底和电衔接晶圆；在衬底的一侧开设榜首凹槽、第二凹槽和第三凹槽；在衬底开设凹槽的一侧键合硅晶圆层；在硅晶圆层远离衬底的一侧构成第四凹槽和第五凹槽；在硅晶圆层远离衬底的一侧制造电衔接层；图形化刻蚀硅晶圆层以构成通气孔、榜首惯性灵敏结构和第二惯性灵敏结构；将电衔接晶圆与电衔接层键合；在衬底上构成与第三凹槽相连通的调压孔；以密封调压孔。本请求经过开设与第三凹槽相连通的调压孔，可以使得开设过程中引进的颗粒物和杂质掉落于第三凹槽内，不会掉落于惯性灵敏结构上，对惯性灵敏结构的形成损坏。

  本年以来敏芯股份新取得专利授权52个，较去年同期减少了20%。结合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研制方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

  证券之星估值剖析提示敏芯股份盈余才能平平，未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

  以上内容与证券之星态度无关。证券之星发布此内容的意图是传达更多具体的信息，证券之星对其观念、判别保持中立，不确保该内容（包含但不限于文字、数据及图表）悉数或许部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。相关联的内容不对各位读者构成任何出资主张，据此操作，危险自担。股市有危险，出资需谨慎。如对该内容存在贰言，或发现违法及不良信息，请发送邮件至，咱们将组织核实处理。如该文标记为算法生成，算法公示请见 网信算备240019号。