苏纳光电获得晶圆镀膜用夹持治具专利进步晶圆镀膜的良品率

  金融界2024年11月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，姑苏苏纳光电有限公司获得一项名为“一种晶圆镀膜用夹持治具”的专利，授权公告号 CN 222064654 U，请求日期为2023年12月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种晶圆镀膜用夹持治具，包含榜首夹持件和第二夹持件，榜首夹持件设有贯穿通孔，贯穿通孔与晶圆相配合，榜首夹持件和第二夹持件相连接以夹持晶圆，当榜首夹持件和第二夹持件夹持晶圆在其两者之间时，榜首夹持件、第二夹持件和晶圆围成一关闭的包容空间，晶圆相对待镀膜的一面露出在包容空间内，贯穿通孔与包容空间相连通，并可自贯穿通孔处对晶圆露出的一面进行镀膜。本实用新型经过榜首夹持件和第二夹持件夹持晶圆，使得晶圆的反面被夹持在关闭的包容空间内，有用的避免划伤损坏晶圆反面的功用区，也能有用的避免外界的杂质或许镀膜时的膜料污染晶圆反面的功用区，进步晶圆镀膜的良品率，有用的进步镀膜功率。